Schmid, Martin (2004). Elektrische und strukturelle Eigenschaften dünner Perowskitfilme für Anwendungen in der Mikroelektronik. PhD thesis, Universität zu Köln.

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Abstract

Um die Verwendbarkeit von dünnen BaTiO3-, BaSrTiO3- und LaAlO3-Schichten auf Silizium in der Mikroelektronik abschätzen zu können, wurden die elektrischen und strukturellen Eigenschaften der mittels gepulster Laserdeposition (engl.: pulsed laser deposition, PLD) bei unterschiedlichen Wachstumsbedingungen auf Silizium(100) und CoSi2(100) hergestellten Schichten ermittelt. Des weiteren wurde zur Vorbereitung integrierter elektrooptischer Bauteile das Wachstum von polykristallinen BaTiO3-Schichten auf MgO untersucht. Die stöchiometrischen und strukturellen Eigenschaften wurden mittels RBS, XRD und TEM charakterisiert. Für die Untersuchung der elektrischen Eigenschaften wurden Kontaktpads aus Cr/Au aufgedampft, um vertikale Plattenkondensatoren zu erzeugen. Diese Kondensatoren wurden mittels eines HP Impedance Analyzer in einem Frequenzbereich zwischen 10 Hz und 10 MHz analysiert und konnten mit den strukturellen Daten korreliert werden. Aus den polykristallinen BaTiO3-Schichten konnte im Rahmen einer anderen Promotion ein Mach-Zehnder-Modulator realisiert werden.

Item Type: Thesis (PhD thesis)
Translated title:
TitleLanguage
Electrical and structural properties of thin perowskite layers for applications in microelectronicsEnglish
Translated abstract:
AbstractLanguage
To estimate the usability of thin BaTiO3, BaSrTiO3 and LaAlO3 films on silicon for microelectronics, the electrical and structural properties of thin films grown un silicon(100) and CoSi2(100) with pulsed laser deposition (PLD) at various growth conditions were determined. Additionally the growth of poly crystalline BaTiO3 on MgO for the preparation of integrated electrooptical devices was examined. The stoichiometric and structural properties were characterized by RBS, XRD and TEM. For the investigation of the electrical properties contact pads of Cr/Au were vapour-deposited, in order to produce vertical plate capacitors. These capacitors were analyzed with a HP Impedance Analyzer in a frequency range between 10 Hz and 10 MHz and could be correlated with the structural data. With the polycrystallines BaTiO3 layers a Mach-Zender modulator could be realized in the context of another graduation.English
Creators:
CreatorsEmailORCID
Schmid, Martinscm21964@tiscali.deUNSPECIFIED
URN: urn:nbn:de:hbz:38-13877
Subjects: Physics
Uncontrolled Keywords:
KeywordsLanguage
Bariumtitanat , Lanthanaluminat , ImpedanzspektoskopieGerman
Faculty: Faculty of Mathematics and Natural Sciences
Divisions: Faculty of Mathematics and Natural Sciences > Forschungszentrum Jülich
Language: German
Date: 2004
Date of oral exam: 8 December 2004
Referee:
NameAcademic Title
Buchal, ChristofProf. Dr.
Full Text Status: Public
Date Deposited: 10 Jan 2006 07:57
URI: http://kups.ub.uni-koeln.de/id/eprint/1387

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